第539章 这一次，我想直接冲整机！

两周后。

整机测试中心。

最后一轮连续运行的数据出来时，老梁盯着屏幕看了足足半分钟，才把手里的笔往桌上一放。

“过了。”

旁边几个研究员顿时松了口气。

这半个月，他们换了好几种工作节拍，又做了长时间负荷变化测试。

陈知远提出的动态补偿方案，没能把所有误差一扫而空，却在事先划定的工况内始终保持着明显优于旧方案的表现。

没有再出现先前那种补偿越补越乱的情况。

老梁把报告往陈知远面前一推。

“你看看，你那套东西，这回算是真正站住了。”

陈知远翻了两页，“嗯，跟预计差不多。”

老梁差点气笑，“你倒是挺淡定。”

“我又不是第一次看这组数据。”陈知远笑道，“而且这才解决了一类动态漂移。”

“得得得，知道你眼光高。”

老梁嘴上抱怨，脸上的笑意却怎么都压不住。

几个月没找到突破口的问题，如今终于有了一套能反复验证的处理办法。

他比谁都清楚，这份报告有多值钱。

不过陈知远说得也没错。

解决一种漂移，不等于整台光刻机就能稳定干活。

当前原型平台可以完成基础曝光，可要让一片测试晶圆连续完成多轮对准曝光，各个系统必须在同一套工作条件下配合。

真正难的，是把它们合在一起。

而这，也正是今天这场联合推进会要讨论的事。

上午十点。

陈知远推开会议室大门时，里面已经坐了三十多人。

除了周启山，还有另外两位院士。

一位负责光源与相关工程系统，另一位长期负责整机工艺集成。

各家研究所、设备单位的技术负责人也来了。

跟上次不同，今天谁都没有再把陈知远当成一个来旁听的年轻学生。

有人主动冲他点头，有人跟他打招呼。

老梁甚至直接替他拉开了前排的椅子。

“坐这儿，待会儿肯定要问你。”

陈知远也没客气。

会议开始，周启山先把两周来的验证结果作了简短通报。

新方案已经完成阶段性测试，正式转入后续工程优化。

几位负责人听得很认真。

但真正讨论到下一阶段，气氛很快就变了。

投影屏幕上出现了一张整机联合测试计划表。

光源组还有稳定性测试没完成。

反射光学组准备更换一套测量标定流程。

工件台和控制组正在调整接口。

工艺验证那边，则一直在等一个足够完整的连续测试窗口。

每个组都有自己的计划。

每个计划单独看，也都说得过去。

问题是，把它们排到一起，下一次完整的多轮对准曝光验证，竟然被排到了几个月以后。

“再快也得先把基础打牢。”一位负责人说道，“现在就强行联调，测试窗口可能都耗在排故上，最后各组自己的任务也耽误了。”

负责工艺验证的院士点了点头。

“风险确实有，样片做出来不难，难的是结果要能重复，还得经得起独立检测。”

光源方向的负责人接过话头。

“我们也不是不想配合，可我这边还有自己的节点，一旦整机联调占了设备，原来的安排就得往后挪。”

没人吵架。

他们都是干了几十年科研的人，当然知道轻重。

正因为每个人都在认真对待自己的任务，才更难轻易拍板。

周启山听完，正准备让人把几个窗口重新核算一遍。

“周院士。”

陈知远忽然开口。

几道目光同时落在他

身上。

“我能不能说两句？”

“你说。”

陈知远看着投影上的进度表，忽然问了一个问题。

“我们现在缺的，到底是各个子系统再多一份漂亮的测试报告，还是一片真正通过整机验证的晶圆？”

会议室安静了一下。

一位负责人皱眉：“你的意思是？”

“每个组都在尽量把自己那部分做到最好，这没有错。”

陈知远拿起桌上的笔，指了指几处被分散安排的测试节点。

“可整机的问题，光靠各组分别把数据做漂亮，是找不全的。”

“就像前面那类动态漂移，光学组的记录没错，控制组的记录也没错，真正的问题，偏偏出在它们一起运行的时候。”

老梁听得连连点头。

这事他亲身经历过，太有发言权了。

陈知远继续道：“既然迟早要把它们放在一起，为什么不先拿现有平台，集中攻一次完整验证？”

负责工艺集成的院士抬起头。

“你说的完整验证，具体到什么程度？”

“在现有原型平台和安全边界内，完成一批多轮对准曝光测试晶圆。”

陈知远说得很清楚。

“要有重复样片，要有独立检测，不是拍一张成功的图，也不是做出一次偶然好看的结果。”

“这当然是我们想要的。”对方看着他，“问题是，你准备什么时候做？”

“一个月。”

三个字落下。

会议室里一下子安静了。

老梁原本正端着水杯，听到这里，动作都顿了一下。

一个月？

现在排出来的计划，可是几个月以后！

“知远。”周启山缓缓开口，“这话可不能随便说。”

“我知道。”

陈知远神色平静。

“所以我说的是现有原型平台的阶段性整机验证，不是造出能量产的EUV光刻机，更不是一个月把所有问题解决。”

他起身走到屏幕前。

“设备已经在这儿，各组的数据也有了，我们现在最大的浪费，不是某个零件不够好，而是每组都在等别的组准备到自己满意。”

“整机需要的，不是所有部件在自己的测试环境里拿满分。”

“而是它们在同一套条件下，能不能把同一件事做成。”

这句话说完，几个原本低头记笔记的负责人，都抬起了头。

陈知远没停。

“我建议先把目标收窄，不追求所有工况，不碰超出当前能力范围的指标，只锁定一套能够实现的测试条件。”

“第一周，统一接口、测量口径和测试流程，先把完整链路跑通。”

“第二周，集中解决联调中真正影响结果的几个关键问题。”

“后面两周，做重复曝光和独立检测。”

“中间哪一步过不了，就在那一步停下，不往后硬冲。”

他指了指进度表。

“也就是说，不是把所有人原来的工作都推翻，而是先挤出一条能真正往前走的路。”

这下，连一直态度谨慎的工艺集成负责人也认真起来。

“你这个方案，最大的问题不是技术，而是协调。”

他指着其中一行安排。

“几家单位要同时调整设备窗口。中途失败，损失的不是一个人的时间。”

“所以要有人对整个验证负责。”陈知远回答。

周启山看了他一眼。

“你愿意担这个责任？”

“我提出的方案，当然由我负责技术统筹。”

陈知远笑了笑。

“但有个前提，各组得按统一计划来，不能上午决定改流程，下午又各回各家，继续按原来的表跑。”

老梁忍不住笑出了声。

这话说

得太直白了，可偏偏一针见血。

会议室里没人觉得被冒犯。

他们当然知道，这才是真正的症结所在。

光源方向的院士沉吟片刻，问道：“两周内如果完整测试链路还是跑不通呢？”

“就停。”

陈知远回答得很干脆。

“把已经查明的问题留下，各组恢复原计划，三十天是验证目标，不是逼大家拿不真实的结果交差。”

负责工艺集成的院士缓缓点头。

“有退出条件，也不干扰整机的安全边界，这样至少值得认真试一次。”

周启山没有立即拍板。

他让几位负责人现场重新确认设备窗口、人员安排和关键接口。

十几分钟后，屏幕上的几条时间线终于被调整到了一起。

不是所有问题都解决了。

但至少，他们找到了一个可以真正执行的窗口。

周启山看向另外两位院士。

“你们的意见呢？”

“我同意先组织这一轮专项验证。”

“我也同意，不过检测必须独立，结果是什么就是什么。”

“当然。”

周启山点头，转向会议记录人员。

“写进去。”

“启动为期三十天的整机集成验证攻关，锁定现有原型平台，目标是完成多轮对准曝光测试晶圆，并通过约定的重复性和独立检测。”

“各单位抽调技术骨干，统一安排测试窗口。”

说到这里，他停了一下。

“技术统筹，陈知远。”

会议记录人员抬头确认了一遍。

“陈知远？”

“对。”

周启山看了眼坐回位置上的年轻人，笑了。

“十九岁怎么了？谁提出方案，谁最清楚该怎么干，就让谁来。”

“当然，项目管理和设备安全由原来的负责人把关，别把人家的好苗子累坏了。”

会议室里顿时响起一阵笑声。

但笑过之后，所有人都意识到，这份刚刚确定的安排意味着什么。

一个十九岁的大学生，不再只是某项技术的贡献者。

接下来三十天，他将作为核心技术统筹，组织来自多家单位的专业团队，直接冲击国产EUV原型平台的一项关键整机验证目标。

会议结束时，老梁走到他身边。

“你这小子，今天算是给自己揽了个大活。”

陈知远看着屏幕上重新排好的计划，笑道：“总得有人先往前走一步。”

“你就不怕做不成？”

“做不成就查清楚为什么做不成。”

陈知远合上笔记本。

“可要是明明有机会，却先按部就班等上几个月，那才可惜。”

老梁看了他两秒，忽然咧嘴一笑。

“行，那我这把老骨头，就陪你再拼一次。”

两人刚走出会议室，负责协调的工作人员已经送来一份新的设备排程。

陈知远低头扫了一眼。

光源组的测试窗口在周二凌晨。

工件台组安排在周四上午。

计量组要到周末才能抽出完整时段。

三张表，还是各走各的。

工作人员有些为难：“这已经是各单位能挤出来的时间了。”

陈知远却没有皱眉。

他拿起笔，把三处时间圈在一起。

“麻烦通知三个组的负责人，下午两点到整机测试中心。”

“是要重新开会吗？”

“不开长会。”

陈知远把那份排程表递回去。

“就干一件事。”

“从今天开始，别再按三台机器排时间了。”

他看了眼控制中心的方向。

“我们要造的，是同一台光刻机。”